가스분석 솔루션
가스분석기 (CRDS) : IMPT PUREN About CRDS
CRDS ( Cavity Ring-Down Spectroscopy)
- 초고순도(ppt~ppm level) 불순물 분석에 최적화된 방식으로 실시간으로 초 저밀도 입자를 정량적으로 측정
- 고 반사율 Mirror가 장착된 Ring-down Cavity에 활성화된 Laser의 운동이 특정 원자(불순물)에 의해 흡수/굴절되어 변화하는 속도 감소를 측정하는 방식
- Detecting 신호 출력 속도 및 Ring-down Cavity의 안정화 속도가 빠르며 초 단위 실시간 데이터 출력
- 주기적으로 교체가 필요한 소모품이 없으며 별도의 교정이 필요하지 않아 유지보수/관리 용이
- 고 반사율 Mirror가 장착된 Ring-down Cavity에 활성화된 Laser의 운동이 특정 원자(불순물)에 의해 흡수/굴절되어 변화하는 속도 감소를 측정하는 방식
- Detecting 신호 출력 속도 및 Ring-down Cavity의 안정화 속도가 빠르며 초 단위 실시간 데이터 출력
- 주기적으로 교체가 필요한 소모품이 없으며 별도의 교정이 필요하지 않아 유지보수/관리 용이
