정제기 솔루션
Nupure 정제기 Room Temperature Type
특/장점
강력한 불순물 제어
- 평균 1ppm 수준의 불순물 투입 시 <1ppb 수준으로 불순물 제거가능
다양한 Gas 에 대응 가능
- Bulk Gas 및 특수가스 어플리케이션 적용
- 다양한 모델라인업, 고객 목적에 따라 적합한 솔루션 적용
간편한 유지관리
- 직관적이고 손쉬운 유지관리 및 설치
라인업
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Ultra Pure, PF Series
Purifier + Particle filter 기능
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Eliminator CA
Inert & Hydrogen Gas 전용, <1ppb spec
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Eliminator CG
Inert (N2 and Noble Gases) Gas 전용, CH4 제거
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Eliminator CAG
Inert (N2 and Noble Gases) Gas 전용, CH4 제거
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Optics OA , OAG
Optics purge Gas 전용