회사연혁
- 2008
- ◾ 주식회사 앤이티 설립
◾ 클린룸용 기류센서 2건 특허 출원
◾ Monitoring System
: 삼성코닝 정밀유리 장비 Status
◾ Gas Analyzing System
: 원익머트리얼즈 Special Gas
- 2009
- ◾ MFC용 Data 중계기 개발
◾ Monitoring System
: LG디스플레이 Particle 모니터링
: 삼성 디스플레이 정전기/이오나이저 모니터링
◾ Gas Analyzing System
: 대성산업가스(LG이노텍) NH3 Gas
- 2010
- ◾ Monitoring System
: 삼성 SMD 온/습도, 유속, Particle, 차압 모니터링
: Solar Chamber Simulation SW
: 클린룸 통합 모니터링 시스템 개발(FMS, EMS, RTMS)
◾ Gas Analyzing System
: (주)아토, 테라텍, 이노메이트 Special Gas
- 2011
- ◾ 경기도 화성시 사무실/연구소 이전
◾ 기업부설연구소 설립 및 기술혁신형 중소기업 인증
◾ 아날로그 데이터 유무선 중계장치 특허 출원
◾ Monitoring SW Solution
: 삼성디스플레이 정전기/이오나이저 모니터링
: 페어차일드 반도체 FMS
◾ Gas Analyzing Solution
: 원익 머트리얼즈, 이노메이트 Special Gas
: 대성산업가스 파주, 광양 포스코 Inert/Special Gas
- 2012
- ◾ UPW_Multi Sampling System 특허 출원 & 삼성 SDI 납품
◾ Monitoring SW Solution
: 알리스타 한국지사 Solarchamber 모니터링
◾ Gas Analyzing Solution
: 원익 머트리얼즈 Special Gas
: 대성산업가스 울산, Inert/Special Gas
: 에어리퀴드 부천 동부하이텍, 삼성전자 화성 Inert Gas
- 2013
- ◾ Monitoring SW Solution
: 원익머트리얼즈 진공센서 모니터링
◾ Gas Analyzing Solution
: 대성산업가스 국내/중국 허페이, Inert/Special Gas
: 그린에어 Tankrory Analyzing System 구축
- 2014
- ◾ Gas Analyzing Solution
: 대성산업가스 중국 광저우, 7종 Inert Gas
: 삼성전자 기흥/화성, Inert Gas
: 원익머트리얼즈, Special Gas
: 대성산업가스(SK Hynix), Inert Gas
◾ Clean room 환경관리 Solution
: 삼성전자 UV HID Inspection Light
- 2015
- ◾ Gas Analyzing Solution
: 원익머트리얼즈 오창/전의, Special Gas
: 대성산업가스, Metal 전처리 System SW
: 에어리퀴드 H2 차단 System
◾ Clean room 환경관리 Solution
: 삼성 디스플레이 A3/중국 수저우, Ionizer
- 2016
- ◾ Gas Analyzing Solution
: 삼성전자 기흥/화성/평택, Inert Gas
: 원익머트리얼즈, Special Gas(ELG PJT 포함)
: 대성산업가스(SK Hynix), Inert Gas
◾ Gas Purifier Solution
: 켐가스 코리아, Neon
: 하나머트리얼즈, CF4, Neon
- 2017
- ◾ Gas Analyzing Solution
: 대성산업가스, SK Hynix R3/M14, 초임계 CO2
: 원익머트리얼즈, Inert & Special Gas
: Prax Air 현곡, Laser Gas
◾ SW Solution
: Prax Air 현곡, 분석실 통합 모니터링 시스템
◾ Gas Purifier Solution
: 켐가스 코리아, Xenon
- 2018
- ◾ 삼성전자 VICI 성능평가 Pass
◾ Gas Analyzing Solution
: SK Hynix 국내/우시, 초임계 CO2
: 대성산업가스, Special Gas(B2H6, N2O, CO)
◾ SW Solution
: Prax Air 현곡, 분석실 통합 모니터링 시스템
: CSOT 우한, AMC 모니터링 시스템
: BOE 청두, AMC 모니터링 시스템
◾ Gas Purifier Solution
: 켐가스 코리아, Xenon
- 2019
- ◾ 삼성전자 구매 업체 등록
◾ ISO 9001 취득
◾ SK Hynix VICI GC 1ppb 성능 평가 Pass
◾ 삼성전자 IMPT PureN 성능 평가 Pass
◾ Gas Analyzing Solution
: 삼성전자 화성/평택/시안, Inert GAS(EUV 포함)
: 삼성전자 화성/기흥 Inert Gas coverage PJT
: SK Hynix 국내/우시, 초임계 CO2
: 원익머트리얼즈, Inert & Special Gas
◾ Gas Purifier Solution
: FRD, Xenon, Xe, Kr
- 2020
- ◾ SK Hynix 구매 업체 등록
◾ Gas Analyzing Solution
: 삼성전자 평택, BSGS PJT Special Gas 5종
: 린데 현곡, He, Neon, Kr, Xe GC
: 원익머트리얼즈, Special Gas
: SK Hynix 국내/우시, 초임계 CO2