클린룸 관리 솔루션

Multi Sampling System

제품개요

- 초순수/가스 불순물 입자 계수 측정을 위한 멀티 샘플링 장치
- 계측기 1대에 다수의 초순수/가스 Sample 연결/ 전환 분석

통합 카탈로그 다운로드

특/장점

기존방식인 계측기와 초순수 라인의 1:1 측정방식을 개선

- 한대의 계측기로 다수의 샘플을 분석함으로써 비용절감 및 공정 최적화

직관적이고 효율적인 조작 및 자동화 Sequence 내장

- 터치스크린 UI로 간편한 조작을 제공하며, 고객요청에 따라 자동 분석 시스템 적용

계측기와 통신하여 Data 관리 서비스 제공

제품 상세

Feature :

  • Easy to use
  • Up to 4 sample connection available
  • By pass low control
  • VICI Multi Position Valve
  • Valve Life time calculation

Benefit :

  • Real time monitoring of defect-causing parficles
  • Automatic UPW Sample Changing
  • Low Costsolufion for multipoint monitoring
  • Proven technology provides reliable and accurate data

Specifications :

  • Sample Connection : ¼″ PVDF
  • By pass sample flow: up to 1liter/min
  • Valve: 4 ports multi positon valve
  • Actuation: Rotor type air actuation
  • Valve Life time: Over 1,000,000 changing
  • System Inside

  • Main Display

  • System Concept